Καθαρισμός με λέιζερ για τη βιομηχανία ημιαγωγών

Καθώς η τεχνολογία των ημιαγωγών συνεχίζει να συρρικνώνεται, οι προηγμένες συσκευές ολοκληρωμένων κυκλωμάτων έχουν μετατραπεί από επίπεδες σε τρισδιάστατες δομές. Η διαδικασία κατασκευής ολοκληρωμένων κυκλωμάτων γίνεται όλο και πιο περίπλοκη, απαιτώντας συχνά εκατοντάδες ή και χιλιάδες βήματα διαδικασίας. Για την κατασκευή προηγμένων συσκευών ημιαγωγών, μετά από κάθε διεργασία, θα υπάρχουν περισσότεροι ή λιγότεροι σωματιδιακοί ρύποι, υπολείμματα μετάλλων ή οργανικά υπολείμματα στην επιφάνεια της γκοφρέτας πυριτίου. Η συνεχής συρρίκνωση των μεγεθών των χαρακτηριστικών της συσκευής και η αυξανόμενη πολυπλοκότητα των τρισδιάστατων δομών της συσκευής έχουν κάνει τους ημιαγωγούς Οι συσκευές να είναι όλο και πιο ευαίσθητες στη μόλυνση των σωματιδίων, στη συγκέντρωση ακαθαρσιών και στην ποσότητα.

Υψηλότερες απαιτήσεις έχουν προταθεί για την τεχνολογία καθαρισμού μολυσμένων σωματιδίων στην επιφάνεια της μάσκας πλακών πυριτίου. Το βασικό σημείο είναι να ξεπεραστεί η τεράστια δύναμη προσρόφησης μεταξύ των μολυσμένων σωματιδίων και του υποστρώματος. Επί του παρόντος, πολλοί κατασκευαστές ημιαγωγών χρησιμοποιούν μεθόδους καθαρισμού με οξύ. Το πλύσιμο και το χειροκίνητο σκούπισμα δεν είναι μόνο αναποτελεσματικά αλλά προκαλούν και δευτερογενή ρύπανση. Επομένως, ποια μέθοδος καθαρισμού είναι αυτή τη στιγμή πιο κατάλληλη για τον καθαρισμό προϊόντων ημιαγωγών; Ο καθαρισμός με λέιζερ είναι αυτή τη στιγμή μια πιο κατάλληλη μέθοδος. Όταν το λέιζερ κάνει σάρωση, όλη η βρωμιά στην επιφάνεια του υλικού θα αφαιρεθεί και η βρωμιά στα κενά θα αφαιρεθεί. Μπορεί να αφαιρεθεί εύκολα, δεν θα χαράξει την επιφάνεια του υλικού και δεν θα προκαλέσει δευτερογενή ρύπανση. Είναι μια ασφαλής επιλογή.

Επιπλέον, καθώς το μέγεθος των συσκευών ολοκληρωμένου κυκλώματος συνεχίζει να συρρικνώνεται, η απώλεια υλικού και η τραχύτητα της επιφάνειας κατά τη διαδικασία καθαρισμού έχουν γίνει ζητήματα στα οποία πρέπει να δοθεί προσοχή. Η αφαίρεση σωματιδίων χωρίς απώλεια υλικού και ζημιά στο σχέδιο είναι η πιο βασική απαίτηση. Η τεχνολογία καθαρισμού με λέιζερ έχει μοναδική επαφή, καμία θερμική επίδραση, καμία επιφανειακή ζημιά στο προς καθαρισμό αντικείμενο και καμία δευτερογενή ρύπανση, που αποτελούν ασύγκριτα πλεονεκτήματα των παραδοσιακών μεθόδων καθαρισμού. Είναι η καλύτερη μέθοδος καθαρισμού για την επίλυση της ρύπανσης των συσκευών ημιαγωγών.